富加鎵業(yè)氧化鎵MOCVD同質(zhì)外延片性能再創(chuàng )新高
近日,杭州富加鎵業(yè)科技有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng):富加鎵業(yè))在氧化鎵MOCVD同質(zhì)外延技術(shù)方面再次取得突破,經(jīng)國家權威檢測機構——中國計量科學(xué)研究院測試表明,厚度超10μm的氧化鎵同質(zhì)外延片載流子濃度為4.2E16 cm-3,遷移率達到181.6 cm2/V·s。基于MOCVD技術(shù)的高質(zhì)量氧化鎵同質(zhì)外延片的研制成功,將有效助力氧化鎵高壓大功率電力電子器件產(chǎn)業(yè)的快速落地。
2025年3月,富加鎵業(yè)基于自主生產(chǎn)的氧化鎵襯底產(chǎn)品,利用MOCVD技術(shù),已經(jīng)實(shí)現了10μm以上厚度的氧化鎵同質(zhì)外延片遷移率達到172.7 cm2/V·s技術(shù)重大突破(富加鎵業(yè)氧化鎵MOCVD同質(zhì)外延技術(shù)取得突破,助力下游垂直功率電子器件產(chǎn)業(yè)落地);在此基礎上,研究人員進(jìn)一步優(yōu)化了MOCVD外延過(guò)程中背景雜質(zhì)控制,精確調控摻雜濃度,提升氧化鎵同質(zhì)外延薄膜質(zhì)量。相關(guān)標準化外延產(chǎn)品(規格書(shū)如下)已于2025年6月同步上市,更好服務(wù)于氧化鎵器件廠(chǎng)家及下游用戶(hù)。
關(guān)于杭州富加:
杭州富加鎵業(yè)科技有限公司成立于 2019年 12 月 31 日,是杭州光學(xué)精密機械研究所注冊成立的第一家“硬科技〞企業(yè),公司以“讓世界用上好材料”為愿景,開(kāi)展寬禁帶半導體氧化鎵材料的產(chǎn)業(yè)化工作,核心產(chǎn)品為氧化鎵單晶襯底、MOCVD外延片、MBE外延片、氧化鎵晶體生長(cháng)及加工裝備,產(chǎn)品主要服務(wù)于功率器件、微波射頻及光電探測等領(lǐng)域。
企業(yè)榮譽(yù)匯總:
2022年獲得浙江省科技型中小企業(yè);2023年獲得國家高新技術(shù)企業(yè);2024年獲得杭州市企業(yè)高新技術(shù)研發(fā)中心及浙江省專(zhuān)精特新中小企業(yè);2025年獲得ISO9001質(zhì)量體系認證(編號:20225Q20294R0M);在氧化鎵領(lǐng)域,承擔了國家發(fā)改委項目1項,國家工信部項目1項,參與了國家自然科學(xué)基金委、浙江省、上海市等國家及省部級項目3項。另外,獲得國際專(zhuān)利授權12項(美國6項,日本6項),國內專(zhuān)利授權40項,“富加鎵業(yè)”商標認證注冊3項,軟件著(zhù)作權(“一鍵長(cháng)晶”控制軟件)4項。
本文轉發(fā)自《亞洲氧化鎵聯(lián)盟》訂閱號